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日本KOFLOC 5400系列質量流量控制器/計

金屬密封,泄漏率1×10-11Pa?m3/s,適用于高真空設備、半導體行業、高純氣體/強腐蝕/有毒氣體 等對泄漏率有高要求的場合。

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商品描述

金屬密封,泄漏率1×10-11Pa?m3/s,適用于高真空設備、半導體行業、高純氣體/強腐蝕/有毒氣體 等對泄漏率有高要求的場合。


日本KOFLOC 5400系列質量流量控制器/計無焊接結構,金屬密封,精確度≤±1%,反應時間≤±1/秒,基本性能適用于半導體過程控制,實現了劃時代的低成本。型號5410系列同樣主體的設計價格也十分合理。適用于高真空設備、半導體潔凈室、高純氣體輸送等對泄漏率有很高要求的場合。


產品特色:
通過安裝溫度流量傳感器得到高精確的快速回應
通用的常閉型閥門
無焊接構造,金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s
采用膈膜閥減少了死區
間距,主體尺寸和連接的設計可以和其它生產商的控制器兼容


技術參數:
流量FS(N2換算):10SCCM-20SLM
氣體種類:所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可),高純氣體
傳感器類型:熱式傳感器
閥門類型:電磁比例閥,常閉
控制范圍:2%-100%
控制速度:2%-100%,1秒以內
          另可選:QS快啟動,反映時間更快
控制精度:±1.0%FS以內
線性:    ±0.5%FS以內
重復性:  ±0.2%FS以內
工作差壓:滿量程FS≤5升/分鐘,49-294Kpa
          5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘,98-294Kpa
低差壓特制:2-149Kpa,根據具體流量來定制
高差壓特制:294-784Kpa,根據具體流量來定制
產品耐壓:980Kpa
泄漏率:最大為1x10-11Pa.m3 /sec以內
使用溫度:0-50℃
允許濕度:10-90%
產品材質:主體-SUS316L
          密封圈:SUS316L
管路接頭:1/4英寸VCR
電氣接頭:D型9針
輸入信號:0-5V(模擬信號)
輸出信號:0-5V(模擬信號)
供應電源:+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)200mA
產品重量:1000g


電氣D型9針連線示意圖:
1號針:閥門開關信號(可不接)
2號針:輸出信號0-5V
3號針:電源+15VDC
4號針:電源COM
5號針:電源-15VDC(
6號針:輸入信號(高)
7號針:輸出信號COM
8號針:輸入信號(低)
9號針:閥門工作電壓反饋(可不接)
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