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PORTER P2000i系列和D2000i系列 液體質量流量計和控制器

專為液體測量設計,結構緊湊、尺寸小巧,簡化了系統集成,高純度和極低的泄漏率

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商品描述

專為液體測量設計,結構緊湊、尺寸小巧,簡化了系統集成,高純度和極低的泄漏率


P2000i系列液體質量流量控制器被設計用于要求對小流量液體進行快速、精確控制的領域。其簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。獨特的熱式測量系統提供精確的測量,同時液體溫度上升小于5度。高級的控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體 進行 快速、穩定的控制。 P2000i系列同時也包括有一個液體質量流量計,用于那些不需要進行流量控制的場合。
D2000i系列液體質量流量控制器被設計用于要求對液體快速、精確控制的半導體制造工藝。數字控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時間小于1秒。潔凈空間內的裝配工藝和全金屬密封結構確保(高純度和泄漏完整性)。獨特的層流旁路和傳感器部件提供精確的測量,同時液體溫度僅上升5度,此外,D2000i的簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。
 
設計特點
壓電式控制閥
金屬密封結構
響應時間快
設計緊湊
316L/316SS不銹鋼結構
高精度達± 1%
 
液體流量計和控制器技術參數
流量范圍:P2000i系列和D2000i系列液體流量控制器是以異丙醇(IPA)來標定的,
          在測量其它液體介質時需要乘以一個校正系數,具體請參考表一
響應時間:P2000i系列 : 2s( 設定點的2%之內 )
D2000i系列:<1s( 流量的5%之內 )
精度和線性:± 1%滿量程(P2000i系列);±1%讀數(D2000i系列)
重復性 :P2000i系列:<±0.2%滿量程(任意連續溫度下)
                    D2000i系列:<±0.2%讀數
量程比:P2000i系列:50:1(2%-100%滿量程)
                  D2000i系列:20:1(5%-100%滿量程)
最大操作溫度 :40℃(104℉)
最大操作壓力:125PSIG
溫度系數 :< 0.1%/℃
輸入/流量輸出信號 : 0-5VDC/0-5VDC(輸出流量信號時:需最小2KΩ電阻)
供電電源:﹢ 15VDC±10%(電流消耗<200mADC時)
泄露率:1х10 -9 atm.cc/s He
預熱時間:10分鐘(P2000i系列);20分鐘(D2000i系列)
電氣連接:9針D型
入口 /出口過程連接:1/8″Male VCR或1/8″Swagelok
控制閥:壓電式常開
內置容積:< 0.71ml(P2000i系列);<1ml (D2000i系列)
重 量:≤ 0.68Kg
 
結構材質
主體:316LSS
傳感器組件:316LSS
閥構成部件:316LSS(D2000i系列);302SS和316LSS(P2000i系列)
“ O”型環:316LSS
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