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日本KFLOC DF550C系列數字式質量流量控制器

標配RS485,MODBUS-RTU協議(以太網RJ-45網線接口2個,最多串聯99臺)

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商品描述

標配RS485,MODBUS-RTU協議(以太網RJ-45網線接口2個,最多串聯99臺)


日本KFLOC DF550C系列數字式質量流量控制器,金屬密封,泄漏率1×10-11Pa?m3/s 
標配RS485,MODBUS-RTU協議 (以太網RJ-45網線接口2個,最多串聯99臺),適用于高真空


設備、半導體行業、高純氣體/強腐蝕/有毒氣體 等對泄漏率有高要求的場合。




產品特色:
通過安裝溫度流量傳感器得到高精確的快速回應
通用的常閉型閥門
無焊接構造,金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s 
采用膈膜閥減少了死區
間距,主體尺寸和連接的設計可以和其它生產商的控制器兼容00mA最大


技術參數:
流量FS(N2換算):10SCCM-10SLM
氣體種類:所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可),高純氣體
傳感器類型:新型熱式傳感器
閥門類型:電磁比例閥,常閉
控制范圍:2%-100%
控制速度:2%-100%,1秒以內
控制精度:±1.0%FS以內
線性:    ±0.5%FS以內
重復性:  ±0.2%FS以內
工作差壓:滿量程FS≤5升/分鐘,49-294Kpa
          5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘,98-294Kpa
低差壓特制:2-149Kpa,根據具體流量來定制
高差壓特制:294-784Kpa,根據具體流量來定制
產品耐壓:980Kpa
泄漏率:最大為1x10-11Pa.m3 /sec以內
使用溫度:0-50℃
允許濕度:10-90%
產品材質:主體-SUS316L
          密封圈:SUS316L
管路接頭:1/4英寸VCR
電氣接頭:D型9針
輸入信號:0-5V(模擬信號)
輸出信號:0-5V(模擬信號)
數字接口:RS485,MODBUS-RTU 或 ASCII協議 (以太網接口2個,最多串聯99臺)
供應電源:+15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)200mA
產品重量:1100g
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